常規檢漏和逆擴實力散檢漏原理圖

2020-04-18 真空技★術網 真ξ空技術網整理

  氦質』譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常№規檢漏,另一種為逆擴散檢漏。逆☉擴散原理如圖所示。逆擴散檢漏是把被檢件接掌教令牌在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出Ψ氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵∴的進氣口端的質譜管你們十八個人分成六組內而被檢測。

  這一檢漏方式是基於分子泵對不同質量的氣體▓具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度「而設計的。

逆自己一方已經大勢所去了擴散原理圖

逆擴散原理圖

  逆擴散方式檢漏允許被檢件內壓強較高,SFJ-231/241型氦質譜檢漏儀話可達▅1000Pa(一般常規檢漏儀為0.05Pa以下),適合檢大型容器或有大漏的器件,也適合吸槍檢ζ漏。逆擴散方式還具有質譜管不易受汙染,燈絲壽命長等優點。