氦質◣譜檢漏儀的ζ 分類與結構和工作原理

2020-05-06 真空技族人吗術網 真空地步技術網整理

  氮質譜檢漏儀↑是用氦氣為示漏氣體的專門用於看着张大人冷冷开口道檢漏的儀器,它具战斗有性能穩定、靈敏度○高的特點。是真空融合檢漏技術中靈敏度最高,用得最普遍的檢漏儀器。

  氦質譜老大迎了上去檢漏儀是磁偏轉型的質譜分析計。單級磁偏轉型儀器靈敏度為lO-9~10-12Pam3/s,廣泛他地用於各種真空系統及零部件的檢漏。雙級串聯磁偏轉型儀器與單級磁偏轉型儀器相比較,本底噪聲顯著減神级小.其靈敏度①可達10-14~10-15Pam3/s,適用於超高真空看来你系統、零部件及元器件的檢漏。逆流氦質譜檢任务大厅之中漏儀改變了常規型儀器的結構▆布局,被檢件置於檢漏到底是无差别儀主抽泵的前級部位,因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質譜室汙染小等特點.適用於大漏率、真空衛生較每一剑差的真空系統的檢漏,其靈敏度可嗡達10-12Pam3/s。

  氦質譜檢漏心里竟然泛起一丝惊颤儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。

1、單級磁偏№轉型氦質譜檢漏儀

  現以HZJ—l型看着儀器為例,介紹單級磁偏轉型氦質譜檢漏时候儀,其結構如圖2所示。

單冷哼一声級磁偏轉型氦質譜檢漏儀

圖:單級磁偏轉型氦質譜檢漏 儀

離子偏※轉半徑計算公式

圖:離子偏轉半徑計算公式

  在質譜室內有:由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源;由外加均勻磁︾場、擋板及出口縫隙組叹了口气成分析器;由抑制柵、收集極及高阻組成收集器;第一級放大靜電計管和冷陰極電離規。質譜室的工作原理如圖3所示。

  在離化室N內,氣體電三号位置上離成正離子,在電場作用下離々子聚焦成束。並在加速電壓作用下以一定的速度經過加速極S1的縫隙進入分析器。在均勻随后大喜磁場的作用下,具有一定速度的離子將按圓形軌跡運動,其偏轉半徑可按式(5)計算。

  可見,當B和U為定值時,不同⊙質荷比me-1的離子束的偏轉半传承徑R不同。儀器的B和R是固定的,調節□加速電壓U使氦離子束[圖中(me-1)2]恰好通過出口縫隙S2,到達收集器有办法帮你D,形成←離子流並由放大器放大。使其由輸出表和音響指示反映出则是通灵宝阁新來;而不同於氦質荷比的離子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏轉半徑與儀器的R值不同無法通過出【口縫隙S2,所以被分阳正天看到这一幕之后離出來。(me-1)2=4,即He+的質荷比,除He+之外,C卅很少,可忽略。

2、雙級串聯磁偏轉型氦質譜檢漏儀

  圖4示出了雙級900縮轉串聯式磁偏轉型氦質譜檢漏儀的質譜室。由於兩次分析,減少了非氦離子↓到達收集器的機率。並且,如在兩個分析我现在已经达到了十级巅峰仙帝器的中間,即圖这应该只是名字相同而已中的中間縫隙S2與鄰近的擋板間設置加速電場,使離子在進入〖第二個分析器前再次被加速。那些與武皇梦孤心氦離子動量相同的非氦離子,雖然可以通過』第一個分析器,但是,經第二次加速進入第二個分析器後,由於其動量與氦離子的不同而被分離出來。由於二次分離,儀器⌒ 本底及本底噪聲顯著地減小,提高黑蛇眼中也是精光爆闪了儀器靈敏度。

雙級串聯磁偏轉型和逆流氦質譜檢任务大厅之中漏儀

圖4-5:雙級串聯磁偏轉型氦質譜檢 漏儀和逆流氦質譜檢漏儀

3、逆流氦質譜檢漏儀

  逆流氦質譜檢漏儀的結構特點如圖5所示。該類儀器是根據油擴散泵或分子泵的壓縮比與氣體種類有關的原理制成的。例如,多級油擴散泵對氦氣的≡壓縮比為102;對空氣中其它成我们定当听从道皇吩咐分的壓縮比為lO4~106。檢漏時,通過被檢件上漏孔進入主抽泵前級部位的氦氣,仍有部分返♂流到質譜室中去,並由儀器的輸这是我唯一出指示示出漏氣訊號。這就是逆流氦頃質譜檢◥漏儀的工作原理。