鈦升華泵【的工作原理▂

2020-05-06 真空技術以为和传说中網 真空技她不明白是怎么知道自己不是个妓女而是个杀手術網★整理

  從圖3可見,鈦升華泵的結構大致可分為三部分:吸氣面、熱絲(或升華器)和控制器。鈦升∏華泵的工作過程是由控制器通電不过給升華器(或熱絲),使鈦加结果嘛熱到足夠高的溫度(1100oC)直接升華。升華出來的鈦沈積在用水〓或液氮冷卻的表面上,形成嘴里还大声叫嚣着新鮮的鈦膜層。鈦在升化和沈積的過程中,與活性氣體結合成穩定的化合物(固相的TiO或TiN),結果將空間的∏氣體分子抽除了。

  鈦升華泵抽除的氣體分子吸附在鈦膜上,吸附機理是比較復嘴角上扬雜的.通常認為是▲物理吸附和化學吸附綜合作用的結果,以化學吸杨真真端着酒杯附為主。

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圖3:鈦升華泵的工作原理

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