靜態▓膨脹校準低真空計方法

2020-05-06 真空技術網必须得想个办法 真空技術網整理

  1910年ξ克努曾最早提出靜態膨脹法壓力校準系統。靜態膨脹校準低真空計時,因〖為容器壁吸、放自己氣不顯著,校準精度較高。在高真〓空校準時,由於器壁整个人瞬间倒飞了出去吸、放氣顯著,必須設法減小其影響。此方法制作簡半神單、操作方便、運算迅速、檢定效率高,且排除了汞蒸氣對人的危害。

  膨脹法校準是淡然一笑基於波意耳定律,即在恒定的溫度下,一定質量的氣▓體的壓力與體積之積為一常數。

單級膨脹系否则統工作示意圖

圖29:單級膨脹系分别看守东南西北四个方向統工作示意圖

  單級膨脹「系統工作示意圖見圖29所示。首先將氣源※室中充有需要壓力為p1的校準氣體,由好標準真空計G2測量。再將校準室抽氣至低@ 於校準壓力下限兩至三個數∏量級。這樣可略去校準室本底壓力對校準果然的影響。

  每操作一次傳遞閥K4,就將由氣◆源室中的壓力為p1容積為傳遞容積Vs的氣體輸送到校準室必须快速离开。第一次膨却是目光冰冷脹後,校準室壓力見式27。

  第n次膨脹之後,校準室三号目光一闪的壓力pn見式28。

  此法計算簡單,如校準高真空可用雙級膨√脹。

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